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MEMS麦克风的主要特性

2021-06-10

  MEMS麦克风通过音孔和外部环境相连。隔膜(振动电极板)和背板(固定电极板)配置在音孔和MEMS芯片的背音室(空洞部)之非常小的空隙当中。隔膜和背板发挥着平行平板型电容器的作用,隔膜因为声压从而产生振动的时候,它和背板之间的空隙长度也会随之发生变化,从而让静电容量产生变化。MEMS麦克风是把此变化作为电气信号取出的,我们可以称其为静电容量型的麦克风。


  麦克风的主要音响特性有很多,比方说:拥有灵敏度、动态范围还与频率特性等等。麦克风的灵敏度以施加特定声压的时候所输出电压大小表示。在MEMS麦克风当中,对于相同声压,隔膜的位移量越大,麦克风的灵敏度便越高。一次,通常情况下,MEMS麦克风小型化之后,隔膜面积也会变小,从而灵敏度也会下降。


  动态范围是以dB单位表示麦克风收集的最大检测声压和最小检测声压的比率。麦克风中要求尽可能高的灵敏度,还有比较广的动态范围。可是灵敏度和动态范围存在权衡关系。在MEMS麦克风当中,假如其达到能够收集到微小声音的高灵敏度的时候,隔膜的位移量便会增加,同意声压等级将会降低,从而使动态范围变窄。因此,在产生较大音量的时候,输出信号失真将会变大,从而产生破音。


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